掩膜是什么?集成电路行业中所说的“掩膜”是什么意思啊
今天给各位分享掩膜是什么的知识,其中也会对集成电路行业中所说的“掩膜”是什么意思啊进行解释,如果能碰巧解决你现在面临的问题,别忘了关注本站,现在开始吧!
一、光掩膜,是什么
光掩膜是一种用于半导体制造中的关键工艺材料。它是一层光敏感的聚合物薄膜,通过光刻技术将图案转移到半导体材料上。光掩膜在芯片制造过程中起到了遮光、保护和传递图案的作用。它能够精确地定义芯片上的电路结构和元件形状,确保芯片的精度和性能。光掩膜的制备需要高精度的设备和工艺,是半导体工业中不可或缺的关键技术之一。
二、掩膜板是什么
1、掩膜版是制作掩膜图形的理想感光性空白板,通过曝光过程,这些图形的信息将被传递到芯片上,用来制造芯片。
2、掩膜版应用十分广泛,在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版,如IC(IntegratedCircuit,集成电路)、FPD(FlatPanelDisplay,平板显示器)、PCB(PrintedCircuitBoards,印刷电路板)、MEMS(MicroElectroMechanicalSystems,微机电系统)等。
三、集成电路行业中所说的“掩膜”是什么意思啊
集成电路行业中所说的“掩膜”是光掩膜
在半导体制造的整个流程中,其中一部分就是从版图到wafer制造中间的一个过程,即光掩膜或称光罩(mask)制造。这一部分是流程衔接的关键部分,是流程中造价最高的一部分,也是限制最小线宽的瓶颈之一。
光掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。铬版的不透光层是通过溅射的方法镀在玻璃下方厚约0.1um的铬层。铬的硬度比玻璃略小,虽不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度的铬版。干版涂附的乳胶,硬度小且易吸附灰尘,不过干版还有包膜和超微颗粒干版,其中后者可以应用于芯片制造。(顺便提一下,通常讲的菲林即film,底片或胶片的意思,感光为微小晶体颗粒)。
在刻画时,采用步进机刻画(stepper),其中有电子束和激光之分,激光束直接在涂有铬层的4-9“玻璃板上刻画,边缘起点5mm,与电子束相比,其弧形更逼真,线宽与间距更小。光掩膜有掩膜原版(reticlemask,也有称为中间掩膜,reticle作为单位译为光栅),用步进机重复将比例缩小到mastermaks上,应用到实际曝光中的为工作掩膜(workingmask),工作掩膜由mastermask复制过来。
四、掩膜材料
掩膜主要由透光的基板和不透光的遮光膜组成。按基板材料分类,主要分为玻璃基板(石英玻璃、苏打玻璃和硼硅玻璃)和树脂基板两大类;其中,因石英玻璃的化学稳定性高和热膨胀率小的优势,在使用环境上相对于其他材料对工艺生产环境的要求较低,现主要应用于制造高世代、高精度产品如高世代IC和超大尺寸显示面板。
五、掩膜的原理是什么
掩模就是一种模具。一般用来制作电路或者微流沟道。将所需线路印在胶片之类的东西上,就是一个简单的掩模,然后在要刻蚀线路的基底上涂布光刻胶,用掩模盖在上面曝光,线路就转移到涂胶的基底上了,未被掩模上不透明部分覆盖的地方就曝光了,可以用特定试剂腐蚀除去,基底上就形成了所需线路或沟道。
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